2021版重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄公布,泰特爾又一產(chǎn)品入圍
2021年12月31日,工業(yè)和信息化部發(fā)布《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄》(2021年版), 并于2022年1月1日起施行。
該指導(dǎo)目錄包括先進(jìn)基礎(chǔ)材料、關(guān)鍵戰(zhàn)略材料、前沿新材料等三大類共304種。泰特爾新材料又一產(chǎn)品入選目錄的第112項(xiàng)目---ArF光刻膠用脂環(huán)族環(huán)氧樹脂。
光刻膠是一種對(duì)光敏感的混合液體,是微電子...